欢迎访问宝鸡市飞腾金属材料有限公司官网!

稀有金属制品专业生产厂家

量身定制,如期交货

全国咨询热线

0917-3907823  18690017430

联系我们
咨询热线
0917-3907823
全国售后热线:
0917-3907823
邮箱:bjftjs@163.com
地址:宝鸡市高新开发区马营镇温泉村
当前位置:首页 > 新闻动态 > 行业新闻  
钛靶材的主要性能要求有哪些?
作者:admin    发布日期:2017/4/5     关注次数:      二维码分享


钛管靶是由纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。那么,钛靶材的主要性能要求有哪些?下面由钛管靶生产厂家来为您介绍。

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。杂质含量

钛靶材

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

钛靶材的主要性能的要求

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。


此文关键字: 钛管靶  钛管靶生产  钛管靶价格   

版权所有:宝鸡市飞腾金属材料有限公司

  备案号:陕ICP备11008803号 网站地图 RSS XML 杭州|温州|沈阳|自贡|陕西|甘肃|

地址:宝鸡市高新开发区马营镇温泉村    电话:18690017430 固话:0917-3907823 邮箱:bjftjs@163.com

技术支持:动力无限   万家灯火

宝鸡市飞腾金属材料有限公司主要从事钛棒 钛法兰 钛异形件 铜管靶 的产品,欢迎前来咨询!

在线客服
热线电话
0917-3907823
二维码
二维码
回顶部